шпаргалка

Карбид кремния

[ Назад ]
Свойства карбида кремния в боль¬шой степени зависят от условий обработ¬ки и

могут изменяться в широких преде¬лах (табл. 2.8).

2.8. Физические свойства карбида кремния



Тип Sic Содержание Sic,%

Плот¬ность,

г/см3 Модуль Юнга, ГПа Коэффици¬ент теплово¬го расшире¬ния,

Тепло¬провод¬ность, Вт/(м •К) Сопро¬тивление изгибу, МПа

Керамическая связка До 95







2,55



100 5,8 16 30

Повторно кри-сталлизованый 100 240 5,0 28 100

Плавленый 95 410 4,9 50 450

Горячепрессо-ванный 98 450 4,5 55 650









Карбид кремния используется из-за его большой твердости и высокого

темпе¬ратурного сопротивления. Многие SiC-структуры менее эластичны, чем

кремний, что полезно для некоторых МЭМС-устройств. Коэффициент Пуассона SiC

изменяется от 0,183 до 0,192. SiC - луч¬ший природный изолятор для кремния и

арсенида галлия. Его удельное сопротивление равно Ом•см, хотя добавле¬ние

присадок может его изменить до 1012Oм•см.

Нитрид кремния

Нитрид кремния плохо реагирует со многими технологиями травления и по¬этому его

часто используют как защиту от распространения примесей и ионного за¬грязнения.

Физические свойства нитрида кремния

Плотность, г/см3 3,1

Точка плавления, °С 1900

Модуль Юнга, ГПа 73

Разрушающее напряжение, МПа ... 460

Коэффициент теплового расшире¬

ния, °С

Теплопроводность, Вт/(см•°С) 0,28

Удельное сопротивление, Ом•см ... 10

Диэлектрическая постоянная 9,4

Пленки нитрида кремния, исполь¬зуемые в большинстве МЭМС-устройств, аморфны и

обычно или напыляются, или депонируются методами химического осаждения из

паровой (газовой) фа¬зы. Чтобы поддерживать структурную целостность пленок, их

обычно выращи¬вают толщиной порядка нескольких сотен нанометров. Наиболее общая

пленка име¬ет модуль Юнга около 260...330 ГПа и коэффициент Пуассона 0,25.

Нитрид кремния обладает многими механическими свойствами, которые де¬лают его

желательным материалом. Он является более хорошим тепловым изолятором, чем

поликремний, что важно для изоляции поверхности микромеханической структуры.

Благодаря высокой механической прочности он стал идеальной пленкой для барьера

от пыли и трения.







Рис. 2.11. Схемы контактов:

а - обычного; б- на легированной поверхности; в - на поверхности диэлектрика; 1

- вывод; 2 - контакт; 3 - слой диэлектрика; 4 - легированная область



Одно из неудачных свойств нитрида кремния - не столь хорошие изоляцион¬ные

свойства, как у кремниевого диокси¬да. Из-за этого некоторые проектировщи¬ки

любят формировать большинство изо¬ляторов из SiO и затем покрывать его

поверхность Si N .



КАТЕГОРИИ:

Network | английский | архитектура эвм | астрономия | аудит | биология | вычислительная математика | география | Гражданское право | демография | дискретная математика | законодательство | история | квантовая физика | компиляторы | КСЕ - Концепция современного естествознания | культурология | линейная алгебра | литература | математическая статистика | математический анализ | Международный стандарт финансовой отчетности МСФО | менеджмент | метрология | механика | немецкий | неорганическая химия | ОБЖ | общая физика | операционные системы | оптимизация в сапр | органическая химия | педагогика | политология | правоведение | прочие дисциплины | психология (методы) | радиоэлектроника | религия | русский | сертификация | сопромат | социология | теория вероятностей | управление в технических системах | физкультура | философия | фотография | французский | школьная математика | экология | экономика | экономика (словарь) | язык Assembler | язык Basic, VB | язык Pascal | язык Си, Си++ |