1.5. Металлы
Металлы используются в МЭМС как электрические проводники и иногда в ка¬честве
структурного материала. Омиче¬ские контакты, контактные соединения и пленочные
проводники служат для элек¬трических связей: со слоями на подложке, между
слоями, внутрисхемных соединений и соединений внутренних элементов
мик¬роэлектронных средств преобразователя с внешними электрическими цепями.
Схемы контактов приведены на рис. 2.11.
Контакт должен удовлетворять следующим требованиям:
- быть невыпрямляющим, т.е. его сопротивление не должно изменяться при
изменении направления электрического тока;
- иметь линейную вольт-амперную характеристику, т.е. его сопротивление не
должно зависеть от величины протекающего тока;
- обладать малым сопротивлением как в направлении, перпендикулярном к
плоскости р-п-перехода, так и параллельном ей;
- отличаться хорошей адгезией с полупроводником и оксидной пленкой;
- характеризоваться высокой теплопроводностью;
- не инжектировать неосновные носители заряда;
- иметь температурные коэффициенты линейного расширения полупроводника и
материала вывода, близкие друг к другу;
- представлять собой стабильную металлургическую систему с
полупровод¬ником и материалом вывода;
- не проникать глубоко в полупроводник;
- материал контакта должен позволять проводить фотолитографию и быть
достаточно пластичным.
Материалов, полностью отвечающих указанным требованиям, не существует: каждый из
них характеризуется своими достоинствами и недостатками.