Алюминий
структуры. Закрывая струк¬туру проводящей пленкой, в устройстве создают
эквипотенциальные поверхности, которые являются необходимыми для действия многих
электростатических уст¬ройств. Алюминий также обычно исполь¬зуется как
электрический проводник в полупроводниковых технологиях.
Физические свойства алюминия
Плотность, г/см3 2,71
Точка плавления, °С 659
Удельная теплоемкость,
Дж/(г •°С) 0,90
Модуль Юнга (объемное значе¬
ние), ГПа 70
Коэффициент Пуассона 0,35
Критический предел прочности,
МПа:
при сдвиге 70
при растяжении 110
Теплопроводность, Вт/(см • °С) 2,37
Коэффициент теплового расширения,
°С
Удельное сопротивление,
Ом • см
Длительное время алюминий был единственным хорошим проводником, который мог быть
легко объединен в ин¬тегральных схемах. Так как алюминий формирует связи Аl2O3 с
SiO2, он отлича¬ется хорошей адгезией со слоями пасси¬вирования.