Золото
Золото - вещество, которое все больше находит применение в области
мэмс.
Физические свойства золота
Плотность, г/см 19,3
Точка плавления, °С 1063
Удельная теплоемкость, Дж/(г •°С) 0,13
Модуль Юнга (объемное значение), ГПа 75
Коэффициент Пуассона 0,42
Критический предел прочности при растяжении, МПа 125
Теплопроводность, Вт/(см • °С) 3,15
Коэффициент теплового расширения, °С
Удельное сопротивление, Ом •см
Золото почти всегда наносится на поверхность более твердого материала или
используется в изделиях, не связан¬ных с механическим движением. Золото имеет
проблемы адгезии с SiO2, но есть некоторые установленные методы для их обхода.
Один из методов состоит в том, чтобы использовать посреднический слой хрома как
связующий материал, посколь¬ку он формирует связи Cr2O с SiO2, а также
отличается сильным сцеплением с золотом.
Главный стимул для использования золота в МЭМС-изделиях заключается в том, что
оно является лучшим электриче¬ским проводником, чем алюминий. Кроме
того, золото не сразу окисляется в атмо¬сфере, что делает его привлекательным
для применения в изделиях, связанных с непосредственным воздействием атмосферы.
мэмс.
Физические свойства золота
Плотность, г/см 19,3
Точка плавления, °С 1063
Удельная теплоемкость, Дж/(г •°С) 0,13
Модуль Юнга (объемное значение), ГПа 75
Коэффициент Пуассона 0,42
Критический предел прочности при растяжении, МПа 125
Теплопроводность, Вт/(см • °С) 3,15
Коэффициент теплового расширения, °С
Удельное сопротивление, Ом •см
Золото почти всегда наносится на поверхность более твердого материала или
используется в изделиях, не связан¬ных с механическим движением. Золото имеет
проблемы адгезии с SiO2, но есть некоторые установленные методы для их обхода.
Один из методов состоит в том, чтобы использовать посреднический слой хрома как
связующий материал, посколь¬ку он формирует связи Cr2O с SiO2, а также
отличается сильным сцеплением с золотом.
Главный стимул для использования золота в МЭМС-изделиях заключается в том, что
оно является лучшим электриче¬ским проводником, чем алюминий. Кроме
того, золото не сразу окисляется в атмо¬сфере, что делает его привлекательным
для применения в изделиях, связанных с непосредственным воздействием атмосферы.