ФИЗИКА_През_Основы ТЕХН_МАТЕР и ПЛЕНКИ
Обычно источником электронов яв¬ляется подогреваемый катод, который испускает
электроны вследствие термо¬электронной эмиссии. Эти электроны за¬тем ускоряются
электростатическими по¬лями и фокусируются с помощью элек¬тромагнитных полей.
Для того чтобы по¬лучить четкий рисунок, пучок электронов управляется и
отклоняется посредством магнитных и электростатических полей.
Сканирующий электронный луч по¬зволяет создавать рисунки с высоким раз¬решением
(с шириной линии < 0,5 мкм). Кроме того, он обладает такими достоин¬ствами,
как управляемость с помощью ЭВМ, достаточно большая глубина про- никновения
(10 мкм) и возможность фо¬кусировки и контроля его положения с использованием
уже хорошо отработанных систем электронной микроскопии.
При изготовлении микроэлектронных структур сканирующая электроннаялитография
применяется для двух целей: для создания рисунка сканирующим элек¬тронным лучом
непосредственно на фо¬торезисте, нанесенном на кремниевую пластину, и для
изготовления фотошабло¬на, рисунок которого может быть затем перенесен на
подложку.