шпаргалка

3.3. Рентгеновская литография

[ Назад ]

Метод рентгеновской литографии иллюстрируется рис. 2.21.

Маска состоит из мембраны, про¬зрачной для рентгеновских лучей и под¬держивающей

пленку, которая имеет за-



Рис. 2.21. Схематическое изображение рентгеновской литографии



данный рисунок и сделана из материала, сильно поглощающего рентгеновские лу¬чи.

Эта маска располагается на подложке, покрытой радиационно-чувствительным

резистом. На определенном расстоянии от маски находится точечный источник

рентгеновского излучения, которое воз¬никает при взаимодействии

сфокусиро¬ванного электронного луча с мишенью. Рентгеновские лучи облучают

маску, соз¬давая соответствующие проекционные тени от поглотителя рентгеновских

лучей на полимерной пленке.

Это пока единственный способ экс¬понирования резиста рентгеновскими лу¬чами,

поскольку линз и зеркал для управ¬ления ими сделать нельзя. Вставка в кружке к

рис. 2.21 иллюстрирует величи¬ну полутени 8 рентгеновского луча, кото¬рая

является результатом конечного зна¬чения ширины d рентгеновского пучка, присущей

любому источнику рентгенов¬ского излучения. При каждой экспозиции величина 5

может быть уменьшена путем правильного выбора параметров. Полуте¬невое

изображение снижает четкость ли¬ний на фоторезисте и определяет мини¬мально

допустимую величину литографи¬ческого разрешения системы

,

где s - ширина зазора между фотошабло¬ном и подложкой.

Поскольку в рентгеновской литогра¬фии используемые длины волн составля¬ют 1 нм,

дифракционные эффекты пре¬небрежимо малы, и поэтому маску можно располагать на

некотором небольшом расстоянии от подложки.



КАТЕГОРИИ:

Network | английский | архитектура эвм | астрономия | аудит | биология | вычислительная математика | география | Гражданское право | демография | дискретная математика | законодательство | история | квантовая физика | компиляторы | КСЕ - Концепция современного естествознания | культурология | линейная алгебра | литература | математическая статистика | математический анализ | Международный стандарт финансовой отчетности МСФО | менеджмент | метрология | механика | немецкий | неорганическая химия | ОБЖ | общая физика | операционные системы | оптимизация в сапр | органическая химия | педагогика | политология | правоведение | прочие дисциплины | психология (методы) | радиоэлектроника | религия | русский | сертификация | сопромат | социология | теория вероятностей | управление в технических системах | физкультура | философия | фотография | французский | школьная математика | экология | экономика | экономика (словарь) | язык Assembler | язык Basic, VB | язык Pascal | язык Си, Си++ |