Массочувствитеяьные пьезорезонансные датчики.
Массочувствительные резонаторы выполняются из тонких пластин или линз кварца
температурнонезависимого АТ-среза. В резонаторах возбуждаются колебания сдвига
по толщине. Присоединяемая масса может нано¬ситься с одной или с двух сторон,
как на электроды, так и на перифе¬рию резонатора. Наращивание массы, т. е.
процесс сорбции вещества, может происходить по-разному и носить как необратимый,
так и обра¬тимый характер. Например, при отработке технологии процессов
напыления в установке заподлицо с поверхностью, на которую про-изводится
напыление, помещается пьезорезонатор-толщиномер, поз-воляющий непрерывно
контролировать процесс по изменению частоты пьезорезонатора в зависимости от
толщины напыленной на него пленки. В гигрометрах и газоанализаторах
пьезорезонаторы покрываются специальными сорбционными покрытиями, удерживающими
исследуе¬мое вещество. Так, измерительный резонатор гигрометра покрывается
тонкой (3•10-7 мкм) пленкой окислов кремния. После измерения резонатор может
быть «высушен», т. е. происходит десорбция веще¬ства.