Требования к электровакуумным материалам (тугоплавкие металлы)
*возможность легкого удаления газа
*низкая испар при раб темпер
*достаточная прочность при раб темп
*мин и макс электронная эмиссия
*определен величина ТКЛР
*хим чистота (стабильность свойств)
Тугоплавкие материалы используются в разных вариантах: пленочных и объемных.
При Тпл>1700С – материал счит тугоплавким.
Основные физико-хим и мех свойства W, Mo, Ta
Св-ва W Mo Ta
Решетка ОЦК ОЦК ОЦК
Плотность г/см3 19,3 10,9 16,6
Темп плавл 3400 2620 2996
ТКЛР (106К)-1 4,6 6 6,6
Модуль упругости ГПА 420 320 180
Предел прочности на растяж σв МПа 1200/4200 80/2600 350/1200
σ, % для отажжен 5 15 40
Трабоч в вакуум До 2500 До 1700 До 2200
Тперехода в хрупк сост 600 25 Пластич при отриц
Ψ, эВ 4,5 4,02 4,12